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公（gōng）司基（jī）本资料信息
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产品概括
半导体晶（jīng）片搬（bān）运用机（jī）器（qì）人
负载：-
动（dòng）态范围：1215mm
控制柜：SR100
用途：搬运（yùn）、半导体
产品详情（qíng）
大动作范围：EFEM模块移动距（jù）离可（kě）达4套应用（yòng）设备，无需使（shǐ）用（yòng）底架，极大（dà）地提高了（le）搬运效（xiào）率。
高速搬运：300枚/小时（shí）
适（shì）用：300mm-450mm晶片搬运
| 项目（mù） | 规格 | ||
|---|---|---|---|
| 机械臂 | 适用晶（jīng）体尺寸 | 300mm(450m)*1 | |
| 晶体把持方式（shì） | 真空吸附夹具或边缘夹具 | ||
| 标准边缘效应器长*2 | 对应345mm＠300mm的晶（jīng）体 | ||
| 驱（qū）动轴数 | 5轴 | ||
| 手（shǒu）臂（bì）类型 | 单臂 | ||
| 动作范围（wéi） | R轴伸缩（suō）*3 | 1215mm | |
| θ轴回旋 | 330° | ||
| Z轴升降 | 480mm | ||
| B轴回（huí）转 | 440° | ||
| *小（xiǎo）回转半径*2 | 510mm | ||
| *快速度*2 | 伸（shēn）缩 | 260°/s | |
| 回旋 | 330°/s | ||
| 升（shēng）降 | 550mm/s | ||
| B轴（zhóu）回转（zhuǎn） | 350°/s | ||
| 线（xiàn）性 | 2000mm/s | ||
| 重（chóng）复定位（wèi）精度*2 | 0.1mm(P-P) | ||
| 质量 | 66kg | ||
| 位置调整器 | 适用晶体尺寸 | 300mm | |
| 晶体把持方式 | 真（zhēn）空吸附夹具 | ||
| 检出对象 | 凹槽 | ||
| 晶体材质 | 珪素*4 | ||
| 晶（jīng）体边缘检出传感器 | LED + CCD线性传感（gǎn）器（qì） | ||
| 动作范（fàn）围 | 回旋 | 无限（xiàn）制（zhì） | |
| *快速度(加速/减（jiǎn）速（sù）时间（jiān）) | 回旋 | 1000°/s(0.1s/0.1s) | |
| LINEMENT精度 | ±0.03° | ||
| LINEMENT时间（jiān） | 1.7秒以下（xià） | ||
| 质量（liàng） | 5.8kg | ||
| 设置环境 | 洁净等（děng）级*5 | ISO等级（jí）1 | |
| 使用温（wēn）度·湿度 | 20～30℃,35～55%RH(不结露) | ||
| 保管温度·湿度 | 0～40℃,35～80%RH(不结露) | ||
| 标高 | 表高1000m以下（xià） | ||
| 环境 | 无爆炸性，腐（fǔ）蚀性，可燃（rán）性（xìng）气体 | ||
| MCBF | 1500次循（xún）环以上 | ||
*1：本公司标（biāo）准终端效应器(300mm:边缘把持/真空吸（xī）着,450mm:真空吸)
*2：300mm晶体(SEMI规格标准品),当（dāng）使用（yòng）本公司标准300mm对应（yīng）终端校（xiào）准器时（shí）
*3：机械臂（bì）回旋中心位置～晶体中心位置(本（běn）公司标准300mm对应终端效应（yīng）器时)
*4：根据SEMI规格为基（jī）准的晶体规格。特殊石英晶（jīng）体请（qǐng）与（yǔ）我司联系。石英晶体也可对（duì）应（有业绩）。但是（shì）根（gēn）据石英规格，本公（gōng）司需要进行评价和调整。
*5：在（zài）0.3m/s的流量下，机械臂进（jìn）行真空吸附
沪公网（wǎng）备31010102005835号
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